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產(chǎn)品展示

12寸探針臺PW-1200

● Failure analysis 集成電路失效分析 ??????????

● Wafer level reliability?晶圓可靠性認(rèn)證

● Device characterization 元器件特性量測 ????

● Process modeling?塑性過程測試(材料特性分析)

● IC Process monitoring 制程監(jiān)控 ????????

● Package part probing IC封裝階段打線品質(zhì)測試

● ESD&TDR testing ?ESD和TDR測試 ?????????????????????

● Microwave probing 微波量測(高頻)

● Solar太陽能領(lǐng)域檢測分析 ?????????????????????????????

● LED、OLED、LCD領(lǐng)域檢測分析


12寸探針臺PW-1200

參數(shù)列表如下:

項      目

性能指標(biāo)

備注

可測圓片尺寸

4,6,8,12 inch


X、Y工作臺

行程

X/Y:12 inch x 12 inch


分辨率

1μm


控制

進(jìn)口導(dǎo)軌


氣浮裝置

大范圍快速移動(氣浮控制旋鈕)


CHUCK

平面度

≤10μm

背面需要加電極(可選)

晶圓固定方式

真空吸附,分檔控制

Chuck Z軸(可選)

行程

10mm


分辨率

1μm


Chuck θ 軸(可選)

微調(diào)范圍

± 7o (分辨率為0.1°)


Platen 平臺

材料

非拋光型不銹鋼+特種鋁合金


容量

6-8個DC針座或者4個RF針座


微調(diào)旋鈕

分辨率為1um

移動范圍為25mm

導(dǎo)軌式移動


升降

8mm行程的升降抬桿,可鎖定

重復(fù)度精度為±2um


上、下片

方式

手動


行程

90mm


顯微鏡

配置

(1)體式顯微鏡

       目鏡:20X

       變倍范圍:0.75X-5X

       總放大倍數(shù):15x-100x

        LED 光源照明

(2)金相顯微鏡

       目鏡:10x

       Zoom:1-2x

       物鏡:2x,10x,20x,50x

       總放大倍數(shù):20x-1000x

       光纖光源系統(tǒng)

根據(jù)客戶測試參數(shù)要求而定

行程

X/Y:2inch x 2inch (分辨率:1um)

   Z: 2inch


氣動升降

顯微鏡氣動升降,便于切換鏡頭


屏蔽罩(可選)

L1350*W900*H1300mm


防震桌(可選)

W*D*H:1100*800*900mm


可選附件:

● 射頻測試探頭及電纜      ● 有源探頭      ● 低電流/電容模塊      ● 高壓模塊      ● 激光修復(fù)      ● 高清數(shù)字相機       ● 探針卡/封裝/PCB板夾具      ● Hot Chuck

兼容測試儀器

● 各種型號示波器      ● 各種品牌型號的源表       ● 是德B1500、4155、4156     ●泰克4200       ● 各品牌的網(wǎng)絡(luò)分析儀

PW-1200 探針臺安裝環(huán)境要求:

A 操作環(huán)境要求:

1

環(huán)境溫度:18-28°C

2

相關(guān)濕度:20%-60%

3

現(xiàn)場要求:水平地板且足夠承受設(shè)備重量

                 較小的機械震動

                 通風(fēng)良好且無陽光直射

                 靠近電源設(shè)備

                 切勿靠近易爆、有毒氣體

B 設(shè)備要求:

4

電源

系統(tǒng): 無

配件: ? 220V 交流額定值,50Hz

           ? 真空泵:220V/50HZ, 14W, 0.16A

           ? 空壓機:220V/50HZ,額定電流2.8A,輸出功率580W

           ? CCD:輸入220V/50HZ,額定電流0.31A;輸出12V/1.0A

           ? 顯微鏡光源:220V, 50HZ, 200W

5

壓縮空氣

空氣要求

氣壓

流量

連接器外徑

潔凈、干燥、無油
    (防震臺用)

0.4-0.6 MPa (58-87 psi)

/

6mm

6

真空

/

<400mbar absolute,-610mbar gage

5 l/min(0.18 CFM)at SATP

6mm

C 運輸和安裝要求:

7

外形尺寸

物理尺寸(WxDxH)

900mm寬*880mm長*800mm高(含顯微鏡)

屏蔽箱:1350mm長*900mm寬*1300mm高

防震桌:1200mm長*800mm寬*800mm高

貨運尺寸(WxDxH)

探針臺及配件貨箱:980 x 840 x 900mm

屏蔽箱貨箱:1500 x 1050 x 1350mm

防震桌貨箱:1200 x 810 x 720mm

8

重量

探針臺重量

200 kg

貨運重量(帶包裝)

探針臺及配件貨箱:230kg

屏蔽罩(帶防震臺):300 kg




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